香蕉久久精品国产-香蕉久久精品-香蕉久久国产精品免-香蕉久久国产-国产一区二区色淫影院-国产一区二区三区在线视频

新聞中心

藍寶石玻璃的內應力消除方法

時間:2024-01-30

藍寶石玻璃有著廣泛的應用,如GaN藍綠半導體二極管實用的襯底材料、高功率激光器理想的窗口材料和激光基體材料等。可采用溫度梯度法和氣泡法生產,如80公斤級、120公斤級、150公斤級。

藍寶石生長過程中,晶體內部不可避免地會產生應力。特別是對于藍寶石晶體棒,在挖棒過程后會引入額外的加工應力,帶應力的藍寶石晶錠在切割時可能會出現電弧弧度大、切割精度低等問題。這些問題可能會增加晶片切割表面的應力,導致切割后晶片出現更大的翹曲和弓形。另外,晶片經過常規退火處理(1400℃左右)后,晶片內部的應力無法釋放。因此,晶片在后續的研磨、倒角加工過程中,很容易出現崩邊、裂紋、翹曲、像散等問題,這將進一步降低良率。因此,為了提高晶片加工的良率,需要及時消除內應力。另外,在使用鎢籠作為加熱元件的生長爐中,鎢原子(W)和少量鉬原子(Mo)可能以固態擴散、滲透等形式隨機進入熔體。

藍寶石玻璃

將通過溫度梯度法(TGT法)生長的藍寶石玻璃在中高溫氧化氣氛(1600℃空氣氣氛)和高溫還原氣氛(1900℃氫氣氣氛)中放置120小時。經過去應力和去色退火處理,即“兩步”退火處理后,晶體變得無色透明。經過測試,藍寶石的完整性和光學透過率都有了顯著的提高。然而,采用兩步法進行退火時,時間成本和退火工藝成本較高。一種“一步式”高溫退火工藝,即在1750~1800℃的空氣氣氛中直接高溫退火。保溫時間取決于晶體質量(一般不超過40小時)。將藍寶石原料中可能含有的低價雜質離子(如Cr3、Ti3)充分氧化成高價態(Cr4、Ti4),進一步減小晶棒的色差,增加晶棒的色差。水晶棒的質量。其次,鎢、鉬原子被氧化生成WO3和MoO3,它們在高溫下容易升華,鎢、鉬原子以氣體形式離開晶棒。高溫退火是消除晶體內應力的適宜方法,且溫度越高,退火時間越短。與現有的兩步工藝相比,該工藝縮短了退火周期。

本工藝使用的高溫退火爐,放置藍寶石玻璃送入退火爐退火,按既定升溫曲線升溫至1750-1800℃,恒溫40小時左右,然后按規定降溫至室溫。整個工藝顯著縮短了退火周期,節省了退火時間和工藝成本,退火前后的外觀顏色發生了根本性的變化。退火前,藍寶石顯得略顯渾濁,顏色較深;退火后,藍寶石內部清晰透明。

主站蜘蛛池模板: 久久久中日AB精品综合 | 免费在线伦理片 | 绞尽奶汁by菊花开 | 久久精品观看影院2828 | 亚洲精品久久久午夜福利电影网 | 久久精品国产亚洲AV未满十八 | 高清AV熟女一区 | 久久精品国产96精品亚洲 | 乱子伦在线观看中文字幕 | 饱满奶大30p | 欧美国产一区二区三区激情无套 | 18 japanese宾馆直播 | 国产亚洲精品精品国产亚洲综合 | 国产欧美第一页 | 蜜芽TV影院在线视频 | 4484在线观看视频 | 亚洲爆乳少妇精品无码专区 | 亚洲精品久久久久一区二区三 | 国产免费人视频在线观看免费 | A级毛片无码久久精品免费 a级毛片黄免费a级毛片 | 国产精品无码视频一区二区 | 全黄h全肉细节文在线观看 全黄H全肉细节文短篇 | 国产亚洲精品香蕉视频播放 | 一级黄色香蕉视频 | 国产电影午夜成年免费视频 | 超碰caoporen国产 | 国产私拍福利精品视频 | 国产成人ae在线观看网站站 | 国产成人久久精品激情 | 日本久久免费大片 | 国产精品乱码一区二区三 | 国产午夜精品美女免费大片 | 亚洲网站视频在线观看 | 色偷偷av男人的天堂 | 亚洲色婷婷久久精品AV蜜桃久久 | 中国大陆一级毛片免费 | 国产人妻人伦精品熟女麻豆 | 丝瓜影院观看免费高清国际观察 | 久久国产精品麻豆AV影视 | 一区二区不卡在线视频 | 芒果影院网站在线观看 |